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氦质谱检漏仪自身保养小知识
时间:2018-01-24 点击次数:1000
   氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
  氦质谱检漏仪的进展:
  经过近半个世纪的努力,今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。
  集中体现在如下几个方面:
  (1)便携式:zui近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
  (2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。
  (3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
  (4)全无油的干式检漏:有些国家生产的氦质谱检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
  (5)检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,质量范围很宽,不仅可检测氦气,而且能检测其它气体。
  氦质谱检漏仪自身保养小知识
  (1)前级真空泵的定期换油及深度保养;
  (2)电磁阀组的超声清洗;
  (3)质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。
  氦质谱检漏仪主要配置采用检漏仪定制产品。设备内芯的制造借鉴国外先进技术,整机设置合理、性能稳定。具有灵敏度高,反应快,开机时间短等特点。检漏效果达到国外先进水平。

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